掩模图形如何定义?

bluecode88780 2009-09-15 02:53:14
有谁知道掩模图形是如何定义的?可以用数学公式表示吗?

还有构成掩模图形的条件是什么?

请高手帮忙!
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donkey301 2009-09-17
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你说的是工艺光刻过程中的掩模图形吗?这个就是一些多边形的集合,可能会出现弧边。如果简单的多边形譬如圆当然可以用数学公式表示了,但一般在计算机中还是表示成二维点组合。掩模图形的多边形起码是闭合的。

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