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诚心找个师傅
2013-06-20 11:57:45
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【SABRE 3D, SABRE 3DxT,LAM设备】2025年9月13日-安全配置-准备工作
请遵循本规程将SABRE 3D/3DxT/3D Scimitar系统设置为安全配置,以便能够在电镀单元、APT模块、XMM(或SRD)模块、工厂接口(FI)外壳或中央通道内部及周边区域执行作业p104-p117。在生产过程中暂停调度程序存在一定风险:若待维护模块未离线且在其他模块完成处理前重启调度程序,可能对生产晶圆造成影响。维护人员需特别注意电镀模块内的晶圆状态,并尽可能快速地恢复调度程序。确认待维护模块内无晶圆滞留暂停调度程序并将相应模块设置为离线状态打开模块检修门并关闭安全盖板(槽位)
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四叔
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