光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究下载

weixin_39820835 2019-05-07 04:00:21
对传统光杠杆测量微小位移的原理进行改进,可以将微位移量放大100量级以上 ,测量系统的理论分辨率为4 nm、 实测
分辨率小于 10 nm
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