磁控溅射PVD阳极设计下载

weixin_39821620 2019-05-14 02:00:17

这是溅射镀膜中的阳极设计方面的pdf，希望能对大家的工作有帮助
相关下载链接：//download.csdn.net/download/baslove/2209022?utm_source=bbsseo

...全文

69 回复打赏收藏转发到动态举报

写回复

回复

切换为时间正序

请发表友善的回复…

发表回复

### 磁控溅射PVD阳极设计 #### 一、引言 磁控溅射（Magnetron Sputtering）是物理气相沉积（Physical Vapor Deposition, PVD）技术的一种，广泛应用于半导体、光学涂层、装饰涂层等多个领域。在磁控溅射过程中，...

磁控溅射镀膜是一种先进的物理气相沉积（PVD）技术，广泛应用于现代工业，尤其是在制造薄膜涂层方面。磁控溅射的基本原理是利用磁场和电场的相互作用，增强电子在靶材表面附近的活动，进而提高氩气的电离效率，形成...

现代涂层设备在技术上不断创新，如均匀加热技术确保基材的温度均匀，温度测量技术精确控制工艺参数，非平衡磁控溅射技术提高薄膜性能，辅助阳极技术优化电场分布，中频电源和脉冲技术则改善了沉积效率和薄膜质量。...

例如，磁控溅射通过磁场增强电子的回旋运动，提高了等离子体密度，增加了溅射效率，特别适合于大面积和高沉积速率的薄膜制备。总的来说，溅射技术是通过精确控制物理过程实现材料在基片上的可控沉积，广泛应用于...

为了优化多晶p型硅阳极有机发光二极管（OLED）的效率，研究人员采取了多项措施，包括改变多晶p-Si阳极的电阻率和采用磁控溅射（Magnetron Sputtering, MS）技术来制造阳极。这项研究重点探讨了通过MS技术沉积硅（Si...

下载资源悬赏专区

13,656

社区成员

12,674,772

社区内容

发帖

与我相关

我的任务

其他技术论坛（原bbs）

社区管理员

加入社区

近7日
近30日
至今

加载中

查看更多榜单

社区公告

暂无公告

试试用AI创作助手写篇文章吧

+ 用AI写文章