论文研究- 强化晶圆退火重复性的方法研究 .pdf 下载

[老栗子]

强化晶圆退火重复性的方法研究 ，李贇佳，黄其煜，超浅结制造技术是支撑超大规模集成电路进一步发展的关键技术,本文以其中的关键工艺--Spike Anneal（尖峰退火）为切入点，对激活Source/Dr 相关下载链接:https://download.csdn.net/download/weixin_39841882/11623939