第1讲 MEMS表面微加工技术（2006）[1].part2.rar下载

weixin_39820835 2020-06-01 08:00:34
MEMS表面微加工技术,MEMS表面微加工技术,MEMS表面微加工技术
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第1讲 MEMS表面微加工技术（2006）[1].part1.rar
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介绍一种MEMS器件主流加工技术
硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。体硅MEMS加工技术的主要特点是对硅衬底材料的深刻蚀，可得到较大纵向尺寸可动微结构。表面MEMS加工技术主要通过在硅片上生长氧化硅、氮化硅、多晶硅等多层薄膜来完成MEMS 器件的制作。利用表面工艺得到的可动微结构的纵向尺寸较小，但与IC工艺的兼容性更好，易与电路实现单片集成。
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