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第1讲 MEMS表面微加工技术(2006)[1].part2.rar下载
weixin_39820835
2020-06-01 08:00:34
MEMS表面微加工技术,MEMS表面微加工技术,MEMS表面微加工技术
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MEMS
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主要包括体硅
MEMS
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和
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。体硅
MEMS
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的主要特点是对硅衬底材料的深刻蚀,可得到较大纵向尺寸可动
微
结构。
表面
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主要通过在硅片上生长氧化硅、氮化硅、多晶硅等多层薄膜来完成
MEMS
器件的制作。利用
表面
工艺得到的可动
微
结构的纵向尺寸较小,但与IC工艺的兼容性更好,易与电路实现单片集成。
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