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SAP 2008 技术大会 系统布局优化演讲稿下载
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定义系统状态（如：全正常、1个单元故障、降级运行、完全故障），状态间转移率 λ（故障率）和 μ（修复率）构成转移强度矩阵 Q。其中 γ_k = (2π/λ) n_k d_k cosθ_k 为相位厚度，η_k = n_k / cosθ_k (TE波) 或 η_k = n_k cosθ_k (TM波) 为光学导纳，θ_k为层内入射角。用于在光刻机设计阶段评估各子系统（光源、光学、工件台、真空等）的可靠性，识别薄弱环节，计算系统整体可用性（Availability），指导冗余设计和维护策略制定。
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