Apodized Grating Coupler Using Fully-etched Nanostructures下载

weixin_39820835 2020-09-11 03:30:53

使用全刻蚀纳米结构的切趾光栅耦合器，武华，李冲，本文演示了作为单模光纤和绝缘体上硅光子集成回路之间接口的二维切趾光栅耦合器。光栅耦合器的光栅槽由全刻蚀纳米结构构成，可以
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An out-of-plane silicon grating coupler capable of mode-order conversion at the chip–fiber interface is designed and fabricated. Optimization of the structure is performed through finite-difference time-domain simulations, and the final device is characterized through far-field profile and transmission measurements. A coupling loss of 3.1 dB to a commercial two-mode fiber is measured for a single

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