一种音叉振动式微机械陀螺性能变异分析 下载

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一种音叉振动式微机械陀螺性能变异分析，文永蓬，王安麟，以一种体微加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象，从参数化设计的角度详尽分析了加工误差引起的关键参数的性能变异对于
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