一种音叉振动式微机械陀螺性能变异分析 下载

weixin_39821526 2020-09-17 09:30:44
一种音叉振动式微机械陀螺性能变异分析，文永蓬，王安麟，以一种体微加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象，从参数化设计的角度详尽分析了加工误差引起的关键参数的性能变异对于
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一种基于滑膜阻尼的间接连接型音叉振动式微机械陀螺
一种基于滑膜阻尼的间接连接型音叉振动式微机械陀螺，文永蓬，王安麟，以提高微陀螺性能为目的，设计了一种新颖的音叉振动式微机械陀螺。该陀螺的特征在于：驱动和检测模态都是面内，主要的空气阻尼是
基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法* (2006年)
为建立加工缺陷对微机械陀螺性能影响的机理性模型，解决高精度微机械结构优化设计的计算时间问题，以微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象，利用多自由度动态有限元解析理论，提出基于子结构模型的检测电容解析法，实现微陀螺实际工作状态的模拟，并对模拟结果进行试验验证。从实例解析出发，发现微陀螺加工缺陷和工艺误差虽然对其结构固频特性影响不大，但是对其最终输出的电容检测特性具有较大影响这一重要现象。解析方法和结果在提高微机械陀螺解析精度和解析效率的基础上，对多物理场耦合工作环境下音叉振动式微机械陀螺健壮性能
石英微机械陀螺敏感芯片的抗振动分析与改进.pdf
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石英微机械陀螺敏感芯片的结构解耦特性研究.pdf
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基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析 (2006年)
以一种通过体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为对象，基于随机摄动技术定量计算了微陀螺固有频率变异和检测输出电容变异的统计特征，以概率思想表达了微陀螺批量加工过程所带来的材料/尺寸随机误差对其性能的影响．通过所提出的影响因子这一概念反映了微陀螺参数变异对性能变异的敏感度．在详尽分析微陀螺众多参数影响因子的基础上获得了微陀螺最为关键的5个参数．这有限关键参数的获得，不仅为微陀螺的健壮性设计提供了方向，同时也为实际微陀螺的加工控制提供了量化的参考依据．
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