薄膜压力传感器与应变片有什么区别？

小贱贱？！ 2021-02-18 12:34:45
不是很清楚应变片的功能和压力薄膜传感器功能的差别
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图文详解MEMS压力传感器原理与应用
MEMS(微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。
MEMS压力传感器原理及应用详解
目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。
MEMS压力传感器的结构与工作原理及应用技术整理.pdf
MEMS压力传感器的结构与工作原理及应用技术整理.pdf
电阻应变式传感器课件
应变式传感器的核心元件是电阻应变片，它可将试件上的应力变化转换成电阻变化。
压力传感器mpx5010
The MPX5010/MPXV5010G series piezoresistive transducers are state-ofthe- art monolithic silicon pressure sensors designed for a wide range of applications, but particularly those employing a microcontroller or microprocessor with A/D inputs. This transducer combines advanced micromachining techniques, thin-film metallization, and bipolar processing to provide an accurate, high level analog output signal that is proportional to the applied pressure.
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