2020春七年级道德与法治下册知识点专题第七课共奏和谐乐章素材新人教版.doc下载

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晶圆表面缺陷检测现状概述 凹坑，凸起，尖角，沟槽），使用光束对晶圆进行照射，收集反射光和散射光信息进行缺陷判断，进一步可分为无图案晶圆表面检测和宏观缺陷检测设备。KLA使用SR-DUV光，检测精度在10nm以下。扫描电子显微（电子束和晶圆表面产生二次电子，X射线等）获取高分辨率的图像，然后用图像处理表面缺陷（凹坑，凸起，尖角，沟槽等）表面容貌和材料信息，分辨率可达5-10nm。晶圆表面缺陷检测设备主要检测晶圆外观呈现出来的缺陷，损伤、毛刺等缺陷，主要设备供应商KLA，AMAT，日立等，其中KLA在晶圆表面检测设备占有市场52%左右。 阅读详情
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