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定义系统状态(如:全正常、1个单元故障、降级运行、完全故障),状态间转移率 λ(故障率)和 μ(修复率)构成转移强度矩阵 Q。其中 γ_k = (2π/λ) n_k d_k cosθ_k 为相位厚度,η_k = n_k / cosθ_k (TE波) 或 η_k = n_k cosθ_k (TM波) 为光学导纳,θ_k为层内入射角。用于在光刻机设计阶段评估各子系统(光源、光学、工件台、真空等)的可靠性,识别薄弱环节,计算系统整体可用性(Availability),指导冗余设计和维护策略制定。

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