能迪科技®净化空调控制系统是半导体行业洁净车间建设的重要组成部分

智能节能君 2023-01-10 11:54:28

电子工业是中国经济现代化不可或缺的支撑力,以集成电路为代表的半导体芯片制造业是电子工业发展的基础和核心。芯片性能与工艺技术和设计的严格性、合理性和先进性密切相关,芯片的可靠性和成品率与加工制造环境的洁净度和材料的纯度有关,特别是随着纳米加工技术的不断发展和广泛应用,超净环境和超纯材料已成为半导体工业进步和创新的关键。

 

洁净厂房的标准

《洁净厂房设计规范》GB50073-2013年制定:无尘室空气悬浮颗粒浓度可控,减少室内滞留和产生的粉尘颗粒数量,净化区温湿度等相关参数可控。根据空气中的不同工艺,需要不同的净化等级和施工标准≥0.5μm/0.1μm洁净室的颗粒数分为十级、百级、千级、万级、十万级。

洁净室净化空调控制系统自动控制洁净车间温度、湿度、压力达到设计要求

 

国内现行标准一般有:GB/T16292-1996、BS5595、FS209E、ISO14644-1、欧盟GMP等等,根据这些要求测量和计算特定颗粒,对洁净室和洁净区域的洁净度进行分级。根据生产工艺和机械设备的实际需要,合理选择最佳净化水平,降低施工成本,资源能耗是净化设计的基本目标。

 

净化空调控制

 

011001.jpg

 

半导体厂房净化空调控制系统是洁净车间建设的重要组成部分。工厂各种生产工艺的正常运行依赖于高质量的洁净环境。能迪科技canlead®净化空调控制系统是一套智能中央空调自动控制系统(PLC)、自动控制车间的温度、湿度和压力等,使其稳定高效地运行,从而满足洁净车间的设计要求。

 

控制净化车间湿度和压力

净化车间的湿度和压力主要取决于新风机组,采用新风机组PLC控制,整个空气处理过程根据室外空气温度分为三个区域:当室外空气湿度为9.72g/kg干空气时,空调机组冷盘管会除湿空气,然后根据冷却温度调整电动水阀的开度,确保空气露点值稳定;室外气体含湿量小于9.72g/kg,湿球温度大于9.53℃当空气冷却加湿时,通过空气露点温度值调整制冷盘管电动水阀的开度,控制加湿器的加湿量;当室外空气的绝对湿度小于9.72g/kg,湿球温度小于9.53℃加热和加湿空气时,通过出风露点温度自动调节加热盘管电动阀的开度PLC控制器根据出风空气的含湿量值,控制加湿器的加湿量。具体控制参数应根据各实例和工艺要求进行适当调整,尽可能找到满足各工艺要求、最节能的控制点。

 

净化车间湿度和压力的控制

 

新风机组压差和加湿器控制

根据送风主管压力信号,通过变频器调整风机转速,确保送风主管静压;通过调整相应的新风支管电动风阀,实现室内各区域所需的压差值。

 

新风机组压差及加湿器控制

 

车间温度控制

车间温度主要由干盘管承担,PLC控制器根据洁净室各区域温度传感器的平均值,调整不同区域干盘管电动阀的开度,确保该区域温度的恒定值。自动控制在满足工艺需求的同时,尽可能及时调整和降低能耗。

 

车间温度控制

 

推进中国半导体材料国产化

在国家鼓励半导体材料国产化的政策指导下,我国半导体材料制造商不断提高半导体产品的技术水平和研发能力,以及能迪科技canlead®净化空调控制系统将成为半导体行业快速发展的助推器,逐步打破国外半导体制造商的垄断格局,促进中国半导体材料国产化进程。

 

...全文
68 回复 打赏 收藏 转发到动态 举报
写回复
用AI写文章
回复
切换为时间正序
请发表友善的回复…
发表回复
英特尔®Smart Edge Open是一个构建边缘计算平台的软件套件。是为了更快更低成本的打造边缘解决方案而推出的产品,能够极大的简化边缘端网络配置的复杂性,降低边缘设备使用的复杂性以及减少应用程序部署的复杂性。英特尔® Smart Edge Open包含了4G/5G 以及有线无线的多重接入网络技术,包含了基于英特尔架构的优化平台技术,集成计算,存储,网络、安全、人工智能、媒体处理等等软硬件加速技术,包含了支持行业标准的容器化和虚拟化技术,并且提供针对特定行业领域的参考实现。Intel Smart Edge 是Kubernetes 认证的软件平台,可以跟任何云原生的Kubernetes 平台做快速集成。本课程是由英特尔的工程师开发录制,面向零基础学员,从边缘计算的概念开始,介绍边缘计算的相关知识,并且帮助您快速理解英特尔® Smart Edge Open软件套件的基本概念以及应用场景。整个课程包含了边缘计算的发展历程和现状,英特尔® Smart Edge Open的设计理念,模块化组件的介绍等等。通过本课程的学习,将帮助您快速理解边缘计算的基本知识和英特尔® Smart Edge Open软件套件的相关概念。快来报名学习吧, 无论您是从业开发者或是在校学生,通过学习您可以快速理解边缘计算的基本知识,同时深入了解英特尔® Smart Edge Open软件套件的相关概念。最激动人心的是:如果您通过测试将获得由英特尔授权CSDN颁发的英特尔®Smart Edge Open软件套件初级课程结业证书。为了增加课程的趣味性,我们的整个课程分为8个10分钟左右的视频教程和一个总结, 每个教程学习结束,您都可以进行相应的课程测试,以便更好的了解您的学习情况。

16,605

社区成员

发帖
与我相关
我的任务
社区描述
设备云平台工程、物联网工程、电气自动化技术交流社区
阿里云腾讯云华为云 个人社区 浙江省·杭州市
社区管理员
  • 一直在尽头
  • 亦世凡华、
  • 敬 之
加入社区
  • 近7日
  • 近30日
  • 至今
社区公告
暂无公告

试试用AI创作助手写篇文章吧