基于涡旋光相移干涉的物体表面形貌测量研究_王思育.caj下载

weixin_39821051 2023-01-23 08:30:14

基于涡旋光相移干涉的物体表面形貌测量研究_王思育.caj , 相关下载链接：https://download.csdn.net/download/m0_74213309/87371509?utm_source=bbsseo

...全文

浏览回复打赏收藏举报

写回复

回复

切换为时间正序

请发表友善的回复…

发表回复

相关推荐

基于涡旋光相移干涉的物体表面形貌测量研究_王思育.caj

基于涡旋光与球面波的干涉原理,提出一种物体微位移的光学测量方法.改进马赫泽德干涉光路,其中一束光照射至空间光调制器产生涡旋光束作为参考光,另一束光经透镜变为球面波后照射至物体上,两束光干涉后干涉条纹呈螺旋状分布. 3 仿真结果 [1]赵冬娥, 王思育, 马亚云,等. 基于涡旋光与球面波干涉的微位移测量研究[J]. 红外与激光工程, 2020, 49(4):6.部分理论引用网络文献，若有侵权联系博主删除。...

分析研究了白光相移干涉应用于表面形貌测量时表面形貌与干涉图像之间的关系, 比较了两种不同光谱分布的光束的白光相移干涉特性。依据白光相移干涉中与干涉光强有关的一些特定参量与表面形貌之间的一一对应关系, 提出了一种不直接测量相位、避开相位测量不确定性的新方法。所提方法扩大了可测深度范围, 可用于测量面形较陡的连续表面或不连续深结构表面。

用相移干涉术测量物体表面形貌时,各种误差因素特别是相移器移相误差的影响使得表面形貌的测量偏离了实际值,甚至会产生形貌失真的现象。采用傅里叶分析的方法对相位提取算式作了理论分析,并根据特征多项式设计分析理论构造了新的、对移相误差不敏感的相位提取算式。经实验验证,该算法有效地提高了相移干涉仪测量表面形貌的Ra值,重复测量精度达5倍以上,使测量结果更接近实际值。

利用MATLAB实现涡旋光的光强图，并且实现了涡旋光与球面波的干涉

发帖

下载资源悬赏专区

1.1w+

社区成员

1120.2w+

社区内容

CSDN 下载资源悬赏专区

其他技术论坛（原bbs）

社区管理员

加入社区

帖子事件

创建了帖子

2023-01-23 08:30

社区公告

暂无公告