Matlab读取Zygo干涉仪dat数据文件 光学检测加工(明码需另付费)

光学码农 2023-07-01 07:34:06
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本程序支持在Matlab中读取Zygo干涉仪/轮廓仪(MetroPro或Mx)的.dat测量文件。 

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Zygo干涉仪和轮廓仪

 

一、结果图

直接上结果对比图。图为MetroPro和Matlab分别对同一个dat文件进行读取的对比结果,展示了本代码能在Matlab中准确读取Zygo测的面形图(Surface/Wavefront Map)和示例条纹图(Intensity Map),并与MetroPro读取的一样。

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Matlab读取的结果与MetroPro读取的结果一样

 

 二、程序简介

本程序能完整读取.dat文件中所包含的137个参数,包括:干涉图(IntensityData,单位:灰度等级)、相位/面形数据(PhaseData,单位:λ)、干涉图像素标定(pixel_height和pixel_width)、测试波长(wavelength_in,单位:m)、波长调谐范围(tune_range,单位:Hz)等等(面形的PV是自己算的),如下图所示:

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相位/面形数据(PhaseData)(单位:λ),可用于后续数据处理,如:计算面形PV、RMS、梯度和滤波等:

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干涉图(IntensityData)(单位:灰度等级),可用于对比度计算等后续处理:

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 三、程序包

本程序包含4个文件,分别为:主程序、破译程序、测试文件和一张截图,其中“破译程序”为.p文件,但这不妨碍从主程序中获到上述的137个参数。

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最近更新:

2022.05.19

据已购买的用户反映,不同型号的Zygo设备工作波长(λ)不一样(例如:632.8nm、1106nm、1053nm等),所以在比较不同型号的Zygo设备测出的.dat文件时,面形PV以nm为单位进行比较比较直观,转换关系为:PV(nm)=PV(λ) × λ。有些用户购买代码后,因对Matlab不熟,不会从读取到的137个参数中调取设备的工作波长λ信息。为方便大家使用,我们在面形图中给PV和RMS值添加了以nm为单位的数据,供大家参考

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