Matlab读取Zygo干涉仪dat数据文件 光学检测加工(明码需另付费)

光学码农 2023-07-01 07:34:06
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本程序支持在Matlab中读取Zygo干涉仪/轮廓仪(MetroPro或Mx)的.dat测量文件。 

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Zygo干涉仪和轮廓仪

 

一、结果图

直接上结果对比图。图为MetroPro和Matlab分别对同一个dat文件进行读取的对比结果,展示了本代码能在Matlab中准确读取Zygo测的面形图(Surface/Wavefront Map)和示例条纹图(Intensity Map),并与MetroPro读取的一样。

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Matlab读取的结果与MetroPro读取的结果一样

 

 二、程序简介

本程序能完整读取.dat文件中所包含的137个参数,包括:干涉图(IntensityData,单位:灰度等级)、相位/面形数据(PhaseData,单位:λ)、干涉图像素标定(pixel_height和pixel_width)、测试波长(wavelength_in,单位:m)、波长调谐范围(tune_range,单位:Hz)等等(面形的PV是自己算的),如下图所示:

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相位/面形数据(PhaseData)(单位:λ),可用于后续数据处理,如:计算面形PV、RMS、梯度和滤波等:

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干涉图(IntensityData)(单位:灰度等级),可用于对比度计算等后续处理:

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 三、程序包

本程序包含4个文件,分别为:主程序、破译程序、测试文件和一张截图,其中“破译程序”为.p文件,但这不妨碍从主程序中获到上述的137个参数。

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最近更新:

2022.05.19

据已购买的用户反映,不同型号的Zygo设备工作波长(λ)不一样(例如:632.8nm、1106nm、1053nm等),所以在比较不同型号的Zygo设备测出的.dat文件时,面形PV以nm为单位进行比较比较直观,转换关系为:PV(nm)=PV(λ) × λ。有些用户购买代码后,因对Matlab不熟,不会从读取到的137个参数中调取设备的工作波长λ信息。为方便大家使用,我们在面形图中给PV和RMS值添加了以nm为单位的数据,供大家参考

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可直接运行 Matlab光学实验仿真 基于Matlab仿真白光干涉与衍射实验 根据七色光合成为白光原理 直接出图 含程序源代码和文档 干涉与衍射是光学的主要内容,也是计算机仿真的热点。与单色光相比,白光干涉与衍射的计算机仿真是个难点。本文依据七色光可合成为白光的原理,基于Matlab 仿真白光干涉与衍射实验。首先基于Matlab 编写白光光栅衍射仿真程序,然后通过改变输入参数而达到利用一个程序同时仿真白光干涉与衍射实验的目的,仿真结果与实际的白光干涉与衍射实验一致。 基于Matlab 的七色光仿真白光干涉与衍射实验, 其算法主要包括以下几个步骤: ①设置固定参数并赋值,设置可调参数并赋默认值; ②设置仿真光屏参数(即仿真结果RGB 值图像矩阵大小); ③计算各色光干涉或衍射的光强及其对应的RGB值矩阵数据; ④依据红绿蓝三基色加性混合法则,把各色光的RGB 值矩阵数据计入仿真结果RGB 值图像矩阵中; ⑤显示仿真结果(即显示仿真结果RGB 值图像矩阵)。 光栅衍射的特例还有夫琅和费多缝衍射及多光束干涉等,利用本文的程序,通过改变可调参数也可对它们进行仿真。在实际的干涉实验中,透光缝宽

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