微摩擦测试仪机械装置设计)最终修改版.docx下载

weixin_39821051 2023-09-19 15:02:14

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为研究MEMS的微摩擦需设计一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器，尤其是能进行微机构摩擦力和正压力测试的大范围、高灵敏度的微摩擦检测装置。给出了一种基于光反射法的微摩擦测试仪的设计方法，介绍了该仪器的设计原理、测力传感器的结构设计、仪器的标定方法。硅测力传感器采用MEMS工艺制作，具有变形量大、线性度好、灵敏度高等优点。实验结果表明，该测试仪能满足微机电系统微摩擦测试的需要。

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