VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真

[Shirleyinfotek]

VirtualLab Fusion系列课程

专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真

 

主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：infotek）

苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary）

授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00

授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室

课程讲师：讯技光电工程师团队成员

课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)

 

光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。

 

第一天

1. 光栅结构建模

• 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统
• 光栅的建模

1.  光栅仿真算法比较

• 薄元近似法（Thin Element Approximation）
• 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）

1. 光栅严格分析实例

• 闪耀光栅
• 光栅与偏振
• 非傍轴衍射分束器分析

1.  光栅设计与优化

• 倾斜光栅结构参数优化
• 公差分析
• 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
• 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理

Q&A

 

第二天

1. 二维光栅结构建模

• 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光）
• 利用全息光栅抑制高阶衍射级次

1. 二维光栅设计优化

• 抗反射蛾眼结构设计
• 公差分析
• 纳米柱的严格分析
• 共振光子晶格仿真

1. 超表面微纳结构

• 超表面分光光栅设计
• 设计和分析超透镜
• 亚波长周期结构的波片实现偏振控制

1. 包含光栅的光学系统仿真

• 光栅衍射测量
• 结构光照明的显微镜系统
• 微结构晶圆检测系统
• 泰伯效应

Q&A

报名方式：

电话：86-21-64860708  传真：86-21-64860709
邮箱：[e-mail]