VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真

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VirtualLab Fusion系列课程专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真

 

主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：infotek）

苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary）

授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00

授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室

课程讲师：讯技光电工程师团队成员

课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)

纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。

干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。

显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。

第一天

1. 基本干涉原理

• 干涉发生的条件
• 杨氏双缝特性

1. 典型的干涉仪系统建模

• 光学层析扫描在面型检测中的应用
• 基于涡旋光的干涉测量系统
• 激光准直镜的测量
• 基础Mirau干涉仪的仿真

Q&A

 

第二天

1. 干涉系统的应用

• 光学系统部分相干性测试
• 法布里腔干涉仪分辨光谱
• 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪）
• 全息曝光干涉

1. 多尺度系统建模仿真

• 衍射光栅干涉测量
• 阿贝成像理论
• 单色仪/光谱仪系统仿真
• 用于微结构晶圆检测的光学系统
• 不同轮廓亚波长光栅的成像
• 结构光照明显微镜与STED显微镜
• SPR表面等离子共振效应

1. 摩尔纹系统

• 摩尔纹检测系统

Q&A

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