托盘在腔体中移动，有哪些实现的思路

被遺忘的榕樹 2023-10-27 14:56:16

想要实现，托盘，在腔体中，左右移动，wpf实现的思路，有哪些

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Gasonics A89-004-01光学传感器是用于等离子处理设备的关键检测部件，主要实现三大功能：1）负载锁系统位置检测，监控晶圆托盘和升降平台位置状态；2）腔体门安全联锁，确保工艺前各部件正确就位；3）步进运动控制反馈，提供动作完成信号及异常检测。该非接触式光电传感器通过精确的位置确认和安全互锁功能，有效保障设备自动化运行的可靠性和工艺安全性。

摘要：Gasonics A90-029-03是专用于半导体设备的晶圆升降板部件，主要功能为实现晶圆的垂直位移与精确定位。该部件作为等离子处理设备（如Gasonics Aura系列）的核心组件，安装在LoadLock模块中，配合步进电机和导轨系统工作，负责晶圆在装载/卸载、腔体定位及层间切换时的升降动作。其精密设计保障了晶圆搬运效率，并能有效防止晶圆损伤，适用于半导体制造中的多工位处理流程。

是将光学亚克力胶做成无基材，然后在上下底层，再各贴合一层离型薄膜，是一种无基体材料的双面贴合胶带。产品规格，100%连续聚酯纤维双织布表面柔软，可用于擦拭敏感表面，产尘量低且摩擦不脱纤维，有良好的吸水性及清洁效率。除胶一般分两种：一种是用除胶机除胶，如图1，另一种是手工刀片除胶，刀片如图2。较低离子量，低发尘量，良好的吸液性，可湿用，柔软，保护擦拭物表面，克重较轻，经济耐用，性价比好。：取出，检查是否有泡，若有泡，可以再次压合，也可以使用除泡机除泡。：把液晶屏幕放置在对位模具内，位置对准，放上盖板。

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